促交流，共发展，邀您共话未来
以“国产替代 降本增效”为主题的“第三代半导体材料制造与装备技术高峰论坛(简称CSIF2023)”将于2023年8月24-25日在无锡锡州花园酒店举行。粤升设备诚挚邀请您莅临展位(A3)参观交流，共同助力加快半导体产业链国产化，推动半导体产业跨越式发展。
【关于粤升】
粤升设备专注于碳化硅外延设备、碳化硅晶体生长设备的研发和生产，助力客户生产高质量的碳化硅外延片和晶片。
粤升设备秉持“追求卓越，成为全球一流的碳化硅设备供应商”的企业宗旨，坚持研发创新，为大力推动我国碳化硅产业的设备国产化，推动国家智能制造贡献智慧和力量。
【产品介绍】
● 具备n、p型及高速率外延生长能力
● 高均匀性、低缺陷的SiC外延质量
● RUN TO RUN 性能优异
● 供液一体化系统
液相法SiC长晶特点
✧ 生长的晶体质量高，缺陷少，没有微管类缺陷，晶体应力低
✧ 可生长n型、p型SiC单晶晶锭，也可生长3C-SiC
✧ 生长过程对温场影响小，工艺稳定性好
✧ 不需预合成SiC粉原料，生产成本低
✧ 生长温度低，能耗低
● 高真空度，高品质泵体、密封设计，各部件严密结合，保障长晶环境
● 高精密性，高品质电控系统、传动系统、零部件，保障设备精密性和运行稳定性
● 自主开发，具有自主知识产权，生产制造不受制约，供货稳定，可接受定制
