粤升设备自主研发的SiC外延炉，外延炉已获得多家外延生长厂家批量订单，生长的SiC外延片质量达到国际领先水平，满足SBD和MOSFET器件的制备要求。

设备已通过国内知名SiC衬底公司验证，且可批量供货；设备兼容8吋晶锭。

其它SiC设备研发中···